Keywords:
Forschungsbericht
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Magnetronsputtern
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Mittelfrequenz
;
Pulsfrequenz
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Plasma
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Magnesiumoxid
;
Indiumoxide
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Zinnoxide
Type of Medium:
Online Resource
Pages:
Online-Ressource (127 S., 4,46 MB)
,
Ill., graph. Darst
URL:
https://edocs.tib.eu/files/e01fb05/50172110X.pdf
URL:
https://doi.org/10.2314/GBV:50172110X
URL:
https://edocs.tib.eu/files/e01fb05/50172110Xl.pdf
DOI:
10.2314/GBV:50172110X
Language:
German
Note:
Förderkennzeichen BMBF 13N8053. - Verbundnr. 01020293
,
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
,
Auch als gedr. Ausg. vorhanden
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Systemvoraussetzungen: Acrobat reader.