Keywords:
Forschungsbericht
Description / Table of Contents:
Die Arbeiten, deren wesentliche Ergebnisse in diesem Bericht dargestellt sind, dienten dazu, Grundlagen der Abscheidung von c-BN-Schichten mittels ionengestützter Methoden aufzuklären, um damit notwendige Voraussetzungen für die Anwendung dieser Schichten zu schaffen. Es wurde dabei angestrebt, die Bestimmung der notwendigen Bedingungen für die Herausbildung einer bestimten Struktur oder Eigenschaft der Schicht auf der atomaren Skala vorzunehzmen, als nicht in Gestalt äußerer Prozeßparameter (Druck, Entladungsleistung o.ä.), sondern über die maßgeblichen Teilchenflüsse, Teilchenenergien und dergleichen zu beschreiben (sog. innere Prozeßparamter) ...
Type of Medium:
Online Resource
Pages:
118 p. = 17,3 MB, text and images
Edition:
[Electronic ed.]
URL:
https://edocs.tib.eu/files/e001/236430114.pdf
URL:
https://edocs.tib.eu/files/e001/236430114l.pdf
Language:
German
Note:
Contract no.: BMFT/BMBF 03 M 2101 F0
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nIndex
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