Keywords:
Forschungsbericht
;
Siliciumnitrid
;
Beschichten
;
Plasmadiagnostik
Type of Medium:
Online Resource
Pages:
Online-Ressource (28 S., 2,16 MB)
,
Ill., graph. Darst
URL:
https://edocs.tib.eu/files/e01fb05/492728143.pdf
URL:
https://doi.org/10.2314/GBV:492728143
URL:
https://edocs.tib.eu/files/e01fb05/492728143l.pdf
DOI:
10.2314/GBV:492728143
Language:
German
Note:
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
,
Förderkennzeichen BMBF 13N8048. - Verbund-Nr. 01020293. - Literaturangaben
,
Auch als gedr. Ausg. vorh
,
Systemvoraussetzungen: Acrobat reader.
Permalink