In:
Shinku, The Vacuum Society of Japan, Vol. 49, No. 6 ( 2006), p. 386-389
Type of Medium:
Online Resource
ISSN:
0559-8516
,
1880-9413
Uniform Title:
高分解能ラザフォード後方散乱分析(RBS)による銀負イオン注入熱酸化薄膜における銀の熱拡散分布の測定と拡散障壁による単層銀ナノ粒子の形成
Language:
Japanese
Publisher:
The Vacuum Society of Japan
Publication Date:
2006
detail.hit.zdb_id:
2397282-8