Nanointegration als Schlüsseltechnologie für einen MEMS basierten IR-Emitter für spektroskopische Sensorsysteme (Kurztitel: "NaMIS"); Teilvorhaben: Aufbau- und Schichttechnologie für IR-Emitter mit Einsatztemperaturen von bis zu 800 ̊C : Abschlussbericht : BMBF-Programm "KMU innovativ: nanotechnologie" (NanoChance) : Laufzeit des Vorhabens: 01.05.2016 bis 30.04.2019 (German)
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2019
- Report / Electronic Resource
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Title:Nanointegration als Schlüsseltechnologie für einen MEMS basierten IR-Emitter für spektroskopische Sensorsysteme (Kurztitel: "NaMIS"); Teilvorhaben: Aufbau- und Schichttechnologie für IR-Emitter mit Einsatztemperaturen von bis zu 800 ̊C : Abschlussbericht : BMBF-Programm "KMU innovativ: nanotechnologie" (NanoChance) : Laufzeit des Vorhabens: 01.05.2016 bis 30.04.2019
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Contributors:
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Publisher:
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Place of publication:[Hermsdorf]
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Publication date:2019
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Size:1 Online-Ressource (15 Seiten, 1,21 MB)
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Remarks:Illustrationen, Diagramme
Förderkennzeichen BMBF 13XP5019D
Verbundnummer 01169511
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek -
DOI:
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Type of media:Report
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Type of material:Electronic Resource
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Language:German
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Contract number:13XP5019D, 01169511
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Source: