Schlussbericht zum Vorhaben Plasmadiagnostische Untersuchungen an ADP-Jets zur optimierten Abscheidung von a-C:HSchichten des Verbundprojekts Erforschung der ADP-Jet Technik zur multifunktionellen, kostengünstigen a-C:H-Schichtentwicklung : Laufzeit des Vorhabens: 01.09.2012-30.11.2015 (German)
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2016
- Report / Electronic Resource
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Title:Schlussbericht zum Vorhaben Plasmadiagnostische Untersuchungen an ADP-Jets zur optimierten Abscheidung von a-C:HSchichten des Verbundprojekts Erforschung der ADP-Jet Technik zur multifunktionellen, kostengünstigen a-C:H-Schichtentwicklung : Laufzeit des Vorhabens: 01.09.2012-30.11.2015
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Contributors:Kewitz, Thorben ( author ) / Kersten, Holger ( author ) / Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, AG Plasmatechnologie
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Publisher:
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Place of publication:Kiel
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Publication date:2016
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Size:1 Online-Ressource (14 Seiten, 795,14 KB)
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Remarks:Förderkennzeichen BMBF 13N12220. - Verbund-Nummer 01125105
Autoren dem Berichtsblatt der Druck-Ausgabe entnommen
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek -
DOI:
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Type of media:Report
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Type of material:Electronic Resource
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Language:German
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Contract number:13N12220, 01125105
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Keywords:
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Classification:
BKL: 52.78 Oberflächentechnik, Wärmebehandlung -
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