The Review of Laser Engineering
Online ISSN : 1349-6603
Print ISSN : 0387-0200
ISSN-L : 0387-0200
Repairing of Cr-photo-mask by ultrafast- pulse laser
Hikaru Kouta, Yuki Kondo, Kazuyuki Akagawa, Kazuyuki Hirao, T. Sato, S. Nakjima, K. Toyoda, T. Hashidume, Y. Minami, K. Makino, J. Morimoto, A. Masagaki, N. Morirnoto, T. Mori, K. Hirobe, H. Iizuka, M. Murahara, S. Yosihara, J. Kawanaka, S. Kubodera, A. Yokotani, K. Kurosawa, W. Sasaki, H. Yanagita, Y. Kawasaki, Y. Maezono, R. Nomura, N. Takezoe, H. Matsuno, T. Igarashi, Kazushi Fujita, Shigeto Kobayashi, Masafumi Ito, Masaru Hori, Toshio Goto, Jun Kamiiisaka, Mineo Hiramatu, Hirotaka Nakayama, Masayuki Nakamura, Akihiro Kono, Nobuo Isii, Noriaki Nishi, Yukio Nakajima, Takahisa Jitsuno, T. Obara, T. Kubota, Y. Mase, T. Inoue, K. Suzuki, J. Nakata, K. Obata, K. Sugioka, H. Takai, K. Midorikawa, Zhengxin LIU, Motoki WATANABE, Akinori KAJI, Mitsugu HANABUSA, Kazuyuki OKADA, Takeyoshi NAKAYAMA, Satoru Nishio, Shigenori Kuriki, Sachiko Umeda, Akiyoshi Matsuzaki, Hiroyasu Sato, Nobuo Ando, Yukinori Hato, Kazuyoshi Tanaka, Yoshihisa Uchida, Jun Yamada, Hideo Furuhashi, Yoshiyuki Uchida, K. Sasaki, T. Kawashima, K. Kadota, H. Sano, Y. Shinto, M. Hasegawa, S. Oyama, Katsunori Tsunoda, Hirofumi Yajima, Tadahiro Ishii, Masaru Sugirua, Hiroshi Ito, Hiroyuki NIINO, Tadatake SATO, Akira YABE, Masanao Tani, Hiroko Okuyama, Naoshige Hayashi, M. Tomita, T. Hirayama, T. Ikagame, S. Ito, H. Takakusaki, M. Ishii, Saburoh SATOII, Tetukazu TANAKA, Masashi ISHIMINE, Satoshi IHARA, Chobei YAMABE, Naoto Koshizaki, Takeshi Sasaki, Quan Li, Xiaoyang Zeng, Y. KAWAKAMI, E. OZAWA, Takenari Mori, Hitoki Yoneda, Kenichi Ueda, Naokatsu Yamamoto, Takeshi Okada, Keiji Ebata, Manabu Shiozaki, Tatuya Kyotani, Keiji Fuse, Tsuguru Shirakawa, Tetsuya Hattori, Nobuhiro Akasaka, Shigeru Semura, Sadao FUJII, Nobuyuki TAKAHASHI, Kozo YASUDA, Mikio MURO, Takashi Fushimi, Hideyuki Horisawa, Shigeru Yamaguchi, Tomoo Fujioka, Takuya Takasaki, Kunimitsu Takahashi, Shinnosuke Nozaki, Hiromi Kawase, Jianrong Qiu, K. Miura, T. Suzuki, T. Mitsuyu, Mamoru Okutomi, Takeyo Tsukamoto, N.B. Dahotre, Akira Obara, Koichi Tsukamoto, Hiroaki ASHIZAWA, Nobuo YASUNAGA, Hironari MIKATA, Keiu TOKUMURA, Shinji MOTOKOSHI, Masahiro NAKATSUKA, K. Kumagai, K. Higashikawa, M. Okoshi
Author information
JOURNAL FREE ACCESS

1999 Volume 27 Issue Supplement Pages 73-77,80

Details
Download PDF (4658K)
Download citation RIS

(compatible with EndNote, Reference Manager, ProCite, RefWorks)

BIB TEX

(compatible with BibDesk, LaTeX)

Text
How to download citation
Contact us
Article 1st page
Content from these authors
© The Laser Society of Japan
Previous article Next article
Favorites & Alerts

Recently viewed articles
Share this page
feedback
 Top