グロー領域で生成したテトラフルオロエチレンのプラズマ重合体 (PPTFE) 薄膜の元素組成と構造をX線光電子分光 (XPS) 法によって分析した. F₁₈及びC₁₆スペクトル強度から求めたPPTFE中のフッ素と炭素の組成比 (F/C) は1.42であった. 波形解析したClsスペクトル領域には5種類のピークが含まれており, C₁₈結合エネルギーはそれぞれ284.7士0.4, 287.0±0.3, 289.0±0.2, 291.5±0.2, 293.6±0.1eVであった. C₁₈スペクトルの帰属を行うために, 低分子モデル化合物の各種炭素基におけるC₁₈結合エネルギーシフト量ΔE (C¹⁸) を (i) CNDO/2法による電荷計算を基礎とする静電ポテンシャルモデル, 及び (ii) 電気陰性度パラメータ法を用いて推算した. これらの理論計算の結果, フッ素置換に基づくC₁₈結合エネルギーの増加量に関する経験式が導かれた. この経験式から, PPTFEは高度に枝分かれし, 橋かけしたセグメント構造を含んでいることが確かめられた.