In:
The Proceedings of the Conference on Information, Intelligence and Precision Equipment : IIP, Japan Society of Mechanical Engineers, Vol. 2008, No. 0 ( 2008), p. 265-268
Type of Medium:
Online Resource
ISSN:
2424-3140
Uniform Title:
2120 流体アナログ集積回路の能動素子として機能する垂直加工型シリコンマイクロバルブの形成(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
DOI:
10.1299/jsmeiip.2008.265
Language:
English
,
Japanese
Publisher:
Japan Society of Mechanical Engineers
Publication Date:
2008
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