Online-Ressource
IOP Publishing
;
1993
In:
Journal of Micromechanics and Microengineering Vol. 3, No. 4 ( 1993-12-01), p. 168-182
In:
Journal of Micromechanics and Microengineering, IOP Publishing, Vol. 3, No. 4 ( 1993-12-01), p. 168-182
Materialart:
Online-Ressource
ISSN:
0960-1317
,
1361-6439
DOI:
10.1088/0960-1317/3/4/002
Sprache:
Unbekannt
Verlag:
IOP Publishing
Publikationsdatum:
1993
ZDB Id:
1480280-6
ZDB Id:
1069644-1
Permalink
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