Keywords:
Forschungsbericht
;
Verfahrensindustrie
;
Prozessmesstechnik
;
Prozessüberwachung
;
Energieeffizienz
;
Massenspektrometer
;
Echtzeitverarbeitung
;
MEMS
;
LIGA-Verfahren
;
Chip
;
Geräteentwicklung
Type of Medium:
Online Resource
Pages:
1 Online-Ressource (96 Seiten, 5,06 MB)
,
Illustrationen, Diagramme
URL:
https://doi.org/10.2314/KXP:1765197422
DOI:
10.2314/KXP:1765197422
Language:
German
Note:
Förderkennzeichen BMWi 03ET1314A-D
,
Verbundnummer 01162066
,
Autoren dem Berichtsblatt entnommen
,
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
,
Sprache der Zusammenfassung: Deutsch, Englisch
Permalink