In:
SHINKU, The Vacuum Society of Japan, Vol. 44, No. 12 ( 2001), p. 1018-1022
Type of Medium:
Online Resource
ISSN:
0559-8516
,
1880-9413
Uniform Title:
真空紫外光を用いた化学的気相成長法によってテトラエトキシシランを原料として堆積した薄膜の評価
DOI:
10.3131/jvsj.44.1018
Language:
Japanese
Publisher:
The Vacuum Society of Japan
Publication Date:
2001
detail.hit.zdb_id:
2397282-8
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