In:
Журнал технической физики, Ioffe Institute Russian Academy of Sciences, Vol. 91, No. 10 ( 2021), p. 1577-
Abstract:
Описана оптимизация существующей технологии изготовления сверхпроводящих пленок и высококачественных туннельных переходов на установке магнетронного распыления. Для расширения частотного диапазона до 1 THz и получения предельных параметров сверхпроводниковых элементов были оптимизированы режимы изготовления пленок Nb, NbN и NbTiN. Для создания приемных элементов на частоты выше 700 GHz туннельные переходы сверхпроводник--изолятор--сверхпроводник Nb/Al--AlN/NbN включаются в микрополосковую линию NbTiN--SiO 2 -Al. Такие структуры разрабатываются для матричного приемника на телескопе Atacama Pathfinder Experiment и ряда других радиоастрономических проектов. Ключевые слова: сверхпроводимость, туннельные переходы, магнетронное напыление, тонкие пленки.
Type of Medium:
Online Resource
ISSN:
0044-4642
DOI:
10.21883/JTF.2021.10.51373.135-21
Language:
Russian
Publisher:
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences
Publication Date:
2021
Permalink