Keywords:
Forschungsbericht
;
Oberflächenprüfung
;
Formmessung
;
Kalibrieren
Type of Medium:
Online Resource
Pages:
Online-Ressource (26 S., 1,33 MB)
,
Ill., graph. Darst
URL:
https://edocs.tib.eu/files/e01fb05/503299049.pdf
URL:
https://doi.org/10.2314/GBV:503299049
URL:
https://edocs.tib.eu/files/e01fb05/503299049l.pdf
DOI:
10.2314/GBV:503299049
Language:
German
Note:
Förderkennzeichen BMBF 13 N 7935. - Literaturverz. - Engl. Zsfassung u.d.T.: Absolute measurement of the topography of calibration artifacts with a wavelength in the visible spectral region and realization of a scanning set-up for topography measurements using a measurement wavelength of 13nm
,
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
,
Auch als gedr. Ausg. vorhanden
,
Systemvoraussetzungen: Acrobat reader.
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