Contract BMBF 13N7093/3. - Joint project no. 01002955. - Engl. title: Improvement of excimer laser beam characteristics. - Bibliographic data partially researched Differences between the printed and electronic version of the document are possible Also available as printed version Systemvoraussetzungen: Acrobat reader Nebent.: Verbundprojekt OPUS II - Voraussetzungen für anwendungsorientierte Optimierung von UV-Strahlquellen und -Schichtoptiken, Teilvorhaben: Verbesserung von Excimerlaser-Strahleigenschaften und Langzeitstabilität | 
