Resist-Qualifizierung und Mehrlagen-Resist-Systeme für die Nanoimprint-Technologie : Abschlußbericht zum Teilprojekt ; Projektzeitraum: 01.09.1998 - 30.01.2002 ; innerhalb des BMBF/VDI-Verbundprojekts "Massiv Paralleles Nanoimprimt (MAPANA)" (German)
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2002
- Report / Electronic Resource
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Title:Resist-Qualifizierung und Mehrlagen-Resist-Systeme für die Nanoimprint-Technologie : Abschlußbericht zum Teilprojekt ; Projektzeitraum: 01.09.1998 - 30.01.2002 ; innerhalb des BMBF/VDI-Verbundprojekts "Massiv Paralleles Nanoimprimt (MAPANA)"
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Contributors:
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Publisher:
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Place of publication:Aachen
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Publication date:2002
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Size:Online-Ressource (17 S., 1,73 MB)
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Remarks:Ill., graph. Darst
Förderkennzeichen BMBF 13N7400 6
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Auch als gedr. Ausg. vorhanden
Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek -
DOI:
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Type of media:Report
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Type of material:Electronic Resource
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Language:German
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Contract number:13N74006, 13N7400
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Source: