Schlagwort(e):
Forschungsbericht
Materialart:
Online-Ressource
Seiten:
24 p. = 521 kB, text and images
Ausgabe:
[Electronic ed.]
URL:
https://edocs.tib.eu/files/e001/245925740.pdf
URL:
https://edocs.tib.eu/files/e001/245925740l.pdf
Sprache:
Deutsch
Anmerkung:
Contract no. BMBF 16 SV 215/3
,
Differences between the printed and electronic version of the document are possible
,
Includes: Entwicklung und Bau einer Anlage zur Vorhangsbeschichtung und Trocknung von beliebig geformten ebenen Wafern
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